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高k柵介質(zhì)中電荷俘獲行為的脈沖特征分析

高k柵介質(zhì)中電荷俘獲行為的脈沖特征分析 本文介紹了電荷俘獲的原理以及直流特征分析技術(shù)對(duì)俘獲電荷進(jìn)行定量分析的局限性。接下來，本文介紹了一種超快的脈沖I-V分析技術(shù)，能夠?qū)哂锌焖偎矐B(tài)充電效應(yīng)（FTCE）的高k柵晶體管的本征（無俘獲）性能進(jìn)行特征分析。

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  • 更新時(shí)間：2009-12-29 15:05:31
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