上海天馬微電子公司是國(guó)內(nèi)知名的液晶顯示面板生產(chǎn)銷(xiāo)售商，主要為電視等設(shè)備提供顯示面板，然而最近互連組件方面的專(zhuān)利卻被重慶惠科金渝光電科技宣告專(zhuān)利無(wú)效。

圖1 現(xiàn)有互連組件示意圖

在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，器件通常為多層結(jié)構(gòu)且必須保證不同層直接的電性連接，因此需要在各個(gè)導(dǎo)電層上形成連通的接觸孔。圖1展示了現(xiàn)有的互聯(lián)組件示意圖，通過(guò)導(dǎo)電層11、12，絕緣層13、14以及接觸孔15a、15b共同形成了導(dǎo)電互連層16。然而由于受到制造工藝的影響，常會(huì)發(fā)生接觸孔位置腐蝕、導(dǎo)電層刻蝕角度不達(dá)標(biāo)、靜電難以釋放等問(wèn)題，導(dǎo)致半導(dǎo)體器件導(dǎo)電層之間發(fā)生斷路且通常難以修復(fù)，造成器件的不可逆損壞。

為解決半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域這一問(wèn)題，上海天馬微電子有限公司于2009年5月12日提出一項(xiàng)名為“互連組件、其制造方法及其修復(fù)方法”的發(fā)明專(zhuān)利（申請(qǐng)?zhí)枺?00910051400.4），申請(qǐng)人為上海天馬微電子有限公司。

圖2 發(fā)明專(zhuān)利提出的互連組件示意圖

圖2是該發(fā)明專(zhuān)利針對(duì)現(xiàn)有互聯(lián)組件改進(jìn)的示意圖，包括基底300、第一導(dǎo)電層311、第二導(dǎo)電層312、導(dǎo)電層之間的絕緣層、互連層316、接觸孔315a和315b以及修復(fù)結(jié)構(gòu)317。接觸孔位于導(dǎo)電層上的絕緣層中，使得互連層和導(dǎo)電層電氣連接。另外，修復(fù)結(jié)構(gòu)317也為導(dǎo)電材料，位于第二導(dǎo)電層312上方，并與第一導(dǎo)電層311導(dǎo)電互連。

針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中由于腐蝕或靜電導(dǎo)致的導(dǎo)電層和互連層之間的斷路問(wèn)題，該發(fā)明專(zhuān)利特別設(shè)置了修復(fù)結(jié)構(gòu)317。如果由于以上原因?qū)е碌诙佑|孔315處的第二導(dǎo)電層312和互連層316發(fā)生斷路，進(jìn)而造成第一導(dǎo)電層311和第二導(dǎo)電層3t2斷路；則可通過(guò)激光焊接修復(fù)結(jié)構(gòu)317和第二導(dǎo)電層312，使修復(fù)結(jié)構(gòu)和第二導(dǎo)電層導(dǎo)電互連，從而使得第一導(dǎo)電層311和第二導(dǎo)電層3t2之間的斷路被修復(fù)。這種設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)可以大大減少由于接觸孔處出現(xiàn)斷路導(dǎo)致的產(chǎn)品報(bào)廢。

圖3 互連組件修復(fù)方法流程圖

同時(shí)，專(zhuān)利還提出了組件修復(fù)流程。如圖3所示，分別利用激光在第一區(qū)域和第二區(qū)域處的修復(fù)結(jié)構(gòu)處進(jìn)行激光焊接，從而使互連層在導(dǎo)電層上方的延伸部分與導(dǎo)電層焊接以形成電氣連接，完成結(jié)構(gòu)修復(fù)。

天馬微電子的這項(xiàng)專(zhuān)利技術(shù)能夠非常方便的解決互連組件出現(xiàn)斷路時(shí)較難修復(fù)或在修復(fù)過(guò)程中對(duì)互連組件造成損壞的問(wèn)題，并且已經(jīng)應(yīng)用到了多項(xiàng)產(chǎn)品并投入市場(chǎng)，具有較高的技術(shù)實(shí)用性。